随着科技的飞速发展，半导体工厂对于自动化生产模式产生了迫切的需求。通过AMHS智能物流系统在各个工艺设备之间进行物料传输，不仅可以提高工厂的生产效率，还可以监控物料的状态和每一片晶圆的生产过程，从而保证产品的品质。AMHS系统在半导体行业被广泛应用，如半导体IC晶圆厂中使用的天车系统等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圆工厂难以实施，所以LED晶圆传输基本上处于人工操作的原始状态，效率较低，也无法满足如Mini LED，Micro LED等高端产品的高品质要求。
福赛特自主研发的MOCVD AMHS智能物流系统，已经在行业头部客户处投入运行生产。该系统实现MOCVD工艺设备的晶圆倒片、晶圆传输以及数据记录和追溯功能，有效降低了人工成本，并通过全自动生产的方式减少了人工参与造成的产品不良，降低了石墨盘的损耗从而提高了其使用寿命。
该系统主要分为倒片区设备和MOCVD工艺设备区设备。倒片区设备主要包括晶圆倒片机，电子货架、倒片区定制AGV和AGV充电设备；MOCVD工艺设备区设备主要包括MOCVD工艺设备、MOCVD中转单元、工艺设备区定制AGV和AGV充电设备。除MOCVD工艺设备外的其它所有设备均由上海福赛特机器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系统具有全自动、高节拍、高精度、高配置、智能化、可扩展等特点。
MOCVD AMHS智能物流系统具有全自动、高节拍、高精度、高配置、智能化、可扩展等特点。
· AGV运载石墨盘根据调度系统指令自动在电子货架、晶圆倒片机、MOCVD中转单元之间对接；
· 电子货架存储石墨盘且与中控系统实时通讯并监控石墨盘状态；
· 晶圆倒片机实现自动上下石墨盘、Pocket自动清洁、晶圆mapping、晶圆寻边、Wafer ID读取、自动上片、自动下片、Wafer ID与盘SN绑定LINK后上传至MES；
·MOCVD中转单元与MOCVD工艺设备无缝对接，实现自动上下石墨盘，收集MOCVD腔体状态信息并与中控系统通讯；
·该系统上下片的节拍为425pcs/小时；产品良率≧99.9%；晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.05mm，±0.1度以内。
MOCVD AMHS 智能物流系统能够大幅提升工艺设备的运行效率，显著提升产品良率，是LED半导体高端制造的首选。福赛特将继续深耕半导体设备行业，在已推出的PVD晶圆倒片机，PSS晶圆上下片机，MOCVD AMHS系统等独家自主研发产品的基础上，继续加大研发力度，进一步优化交付和服务质量，成为中国领先的LED半导体AMHS设备提供商！
